光學(xué)平臺(tái)空氣彈簧隔振器結(jié)構(gòu)力學(xué)
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光學(xué)平臺(tái)
空氣彈簧隔振器具有測(cè)量、生產(chǎn)加工技術(shù)、材料與集成電路技術(shù)、電子器件技術(shù)、,
空氣彈簧隔振器的使用越來(lái)越普遍。例如,承載所有暴露組件的光刻技術(shù)可測(cè)量框架的振動(dòng)降低。危及減振特性的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)是減振設(shè)備的共振頻率和阻尼系數(shù)。在阻尼作用下,共同地震區(qū)的減振效果非常明顯,而共同地震區(qū)以外的情況正好相反。因此,為了保證其他阻尼系統(tǒng)軟件的阻尼特性,有必要根據(jù)實(shí)際情況設(shè)置系統(tǒng)軟件阻尼。目前,典型的彈簧
減振器采用固定節(jié)流閥填料和氣體節(jié)流閥減振。本產(chǎn)品減振調(diào)整結(jié)構(gòu)復(fù)雜,難以保證。此外,在多個(gè)阻尼調(diào)節(jié)桿的操作過(guò)程中,無(wú)法保證每組徑向預(yù)埋孔的規(guī)格一致。
一種根據(jù)氣缸調(diào)節(jié)氣固兩相流減振耦合效果的光學(xué)平臺(tái)空氣彈簧隔振器,其結(jié)構(gòu)力學(xué)實(shí)體模型。彈簧
減震器在外管內(nèi)設(shè)有連接管,彈簧風(fēng)道總成在內(nèi)管上方兩側(cè),外管通過(guò)上沖頭的密封與空氣彈簧風(fēng)道的下部連接。內(nèi)缸按固定位置與上環(huán)形后蓋板和彈簧氣室密封連接。進(jìn)氣口和排氣口設(shè)置在外缸的外內(nèi)壁上,一組環(huán)形布置的噴嘴設(shè)置在外缸的內(nèi)側(cè),在外缸下方具有密封性。配置環(huán)形底板,液壓桿通過(guò)環(huán)形后蓋板裝入內(nèi)缸腔內(nèi),傾斜鍍鋅鋼絲繩的頂端固定在環(huán)形后蓋板上,傾斜鍍鋅鋼絲繩的底端固定在頭部下方。液壓桿和傾斜鍍鋅鋼絲繩構(gòu)成單擺結(jié)構(gòu)。固定負(fù)載板固定在液壓桿上方。內(nèi)缸底端裝有鋼彈簧。柔性門(mén)鉸鏈的下部組裝在活塞桿上方,柔性門(mén)鉸鏈的頂部組裝在液壓桿下方。